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SECS/GEM通信协议的使用

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  • 大小: 17.12MB
    文件类型: .caj
    金币: 2
    下载: 1 次
    发布日期: 2023-06-18
  • 语言: 其他
  • 标签: SECS/GEM  
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资源简介

利用半导体通信协议以及结合硬件实现了半导体设备自动化

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