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化学气相沉积 物理气相沉积溅射镀膜蒸发镀膜2、扩散掺杂与离子注入掺杂所形成的杂质浓度分布各自的特点是什么？与扩散掺杂相比离子注入掺杂的优势与缺点各是什么? 3、简述离子注入工艺中退火的主要作用。
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