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    发布日期: 2023-10-03
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  • 标签: SEMI  E84  

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设备自动化协会标准文档,半导体制造行业自动运输系统需要遵守的通讯标准。自99年在E23的基础上制定了E84后,E84逐渐成为主流,开发必备。

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