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PZT薄膜的制备方法及其在压电传感器中的应用,杨凯,傅青云,锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3, PZT]薄膜因其优越的压电、介电、铁电、热电、光电性能以及易与半导体技术兼容等特点,被广泛应用于压电传感器
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