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PECVD法制备硅基类金刚石薄膜的摩擦学性能，王学东，王鹏，以N (100) 型的单晶硅片为基体，运用等离子体化学气相淀积台在单晶硅片衬底上沉积了类金刚石薄膜。用纳米压痕仪测定了薄膜的硬度，�
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